慧宇昊检测中心-洁净度服务-洁净度

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    2022-5-14

陈伟涛
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洁净室检测静电检测

一、测试目的,静电问题不是只有半导体业才有,其它行业也有类似问题。微小物质上若是含有静电,就会变成非常难处理的问题,因为传输变的很不容易。另外在无尘室里面,若是物体表面带有静电,就很容易吸引灰尘造成污染。静电测试的目地是测量空气中正离子与负离子的含量,洁净度服务,依此数据可物体在该气流场中之残余表面电压。

二、 测试程序,于无尘室内离地 32 英吋 (813 mm) 处,测量该位置之空气中正离子与负离子的含量,单位是每立方厘米离子数。测量点数: 10 个,或由业主自己决定。在同一位置做残余电压测试。



单向流洁净室检测

单向流洁净室也叫层流洁净室也分为垂直流动洁净室和水平流动洁净室,其气流是从室内送风一侧平行、直线、平稳地流向相对应的回风侧,它是将室内污染源的污染物在未向室内扩散之前就被洁净空气压出房间,送入的清洁空气对污染源起隔离作用。

特点:流线单向平行,是指时均流线彼此平行,方向单一,并且干净气流不是一股或几股,而是充满全室断面,所以这种洁净室不是靠洁净气流对室内脏空气的掺混稀释作用,洁净度,而是靠洁净气流推出作用将室内脏空气沿整个断面排至室外,洁净度标准,达到净化室内空气的目的。




洁净室检测压差的测试

(1)应在所有的门都关闭的条件下,洁净度,由高压向低压、由平面布置上与外界远的里间房间开始,依次向外测试;有孔洞相通的不同等级相邻的洁净室(区),其洞口处宜有合理的气流流向等等。

(2)在洁净平面上应从洁净度由高到低的顺序依次进行,一直检测到直通室外的房间。

(4)所测量记录的数据应到 1.0pa。

(1)先关闭所有的门。

(3)记录所有数据。

(1)不同级别的洁净室或洁净区与非洁净室(区)之间的静压差,应不小于5pa。

(3)对于空气洁净度等级严于 5 级(100 级)的单向流洁净室在开门时,门内 0.6m 处的室内工作面含尘浓度应不大于相应级别的含尘浓度限值。



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