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洁净室检测对空气温度检测仪器的要求
1.玻璃温度计，玻璃温度计由感温包、温度计茎、毛细管、和储液包组成如图 所示。其测温原理主要为感温包内的液体受热后体积膨胀，从而液体在毛细管中的高度产生变化。玻璃温度计的特点是直观、成本低廉、精度---特点。但由于测温时间较长。因此在洁净室工程验收中使用玻璃温度计进行温度测试时需要耗费很多时间。
2.数字温度计，数字温度计通常有温度传感器和显示装置组成。在测试过程中可以选择 所示的手持式温湿度计，也可以选择传感器和显示仪表来集成使用方便的数字温度计。常用的温度传感器有热电偶、铂电阻。
洁净室检测静电检测
一、测试目的，洁净工作台检测，静电问题不是只有半导体业才有，其它行业也有类似问题。微小物质上若是含有静电，就会变成非常难处理的问题，因为传输变的很不容易。另外在无尘室里面，若是物体表面带有静电，洁净工作台检测公司，就很容易吸引灰尘造成污染。静电测试的目地是测量空气中正离子与负离子的含量，洁净工作台检测标准，依此数据可物体在该气流场中之残余表面电压。
二、 测试程序，于无尘室内离地 32 英吋 (813 mm) 处，测量该位置之空气中正离子与负离子的含量，单位是每立方厘米离子数。测量点数： 10 个，或由业主自己决定。在同一位置做残余电压测试。
洁净室自净能力检测
一、测试目的，确认在无尘室释放颗粒后，测量在多少时间内能恢复到释放之前的洁净水平。
二、测试仪器，颗粒测试仪（品牌 met one），型号：3313、2100、颗粒释放器。
三、测试位置，任意抽取测量点，也可与相关人员共同确认测试点。
四、测试步骤
1.在测试开始之前要---净房空调系统正常运转24以上，让洁净环境达到一个稳定的水平。
2.在抽取的测量点放好颗粒计数器，先做颗粒洁净度测试，记录该房间每立方英尺体积的空气中含有的0.3um颗粒数量，连续测试数分钟，洁净工作台检测报告，待取一个稳定的数据，此时，再将该房间的整个空调系统全部断电。
3.在该房间内释放颗粒，使于外界非洁净区域的颗粒自使整个洁净室0.3um的颗粒浓度达到之前浓度的10或100倍。此时再启动空调系统，使其正常运行，测试该洁净室内颗粒浓度恢复到之前水平所需要的时间
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