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洁净室检测结果评定
1.每个采样点的平均粒子浓度小于或等于规定的级别界限,即a≤级别界限,则判符合规定。(采样点>;9个)
2.全部采样点的粒子浓度平均值均值的95%的置信上限小于或等于规定的级别界限,即ucl≤级别界限,则判符合规定。(采样点≤9个)
3.凡是1、2规定不相符合,则判不符合规定。100级小采样量***0.5um: 5.66l/次。其余洁净级别,***0.5um:2.83l/次,***5um:2.83l/次
洁净室检测地板导电检测
一、测试介绍,导电度可视为电流流经或绕过某物体之容易程度 (relative ease) ,培养箱检测报告,电阻的倒数即导电度
二.、测量目的测量,培养箱检测标准,板上点与点之间 (floor point to point) 的电阻,和地板与大地间(floor to ground) 的电 阻
三、point to point 检测过程,温湿度需已经测试调整合格每组数据需使用两个电极电阻计之开路电压为 500 欧姆,内阻至少 100000 欧姆每个无尘室至少量 5 组数据,取平均值
洁净室气流流向检测
一、 测试目的
平行度测量的目的,是观察在工作区域里面气流的运动模式,培养箱检测设备,同时也可以观察仪器设备对气流的影响。平行度测量应该在气流的风速与均匀度都测试完毕且通过之后进行,过早进行可能得不到正确的数据。
二、 测试方法
一般而言平行度的测量,是由肉眼观察所决定。使用的工具包括烟雾、水雾、pfa 、和轻质棉线。。烟雾或水雾的共同优点是只要粒子够小,烟雾可随风飘扬,可正确的反映气流运动模式。但是其共同问题是滞空性不足,观测时间太短。测量平行度需要花一些时间,因此需要大量烟雾或水雾,对无尘室可能造成污染。另一种方式是使用轻质细线,让细线随风飘舞,培养箱检测,然后测量气流平行度。在无尘室内普遍使用新的高分子材料 flo-viz ,是用尼龙---单丝所制成,由于很轻因此适合作无尘室平行度测量。测量平行度的方法是立一根铅垂线,然后在滤网下方施放烟雾或是安放细线,之后观察所施放烟雾与铅垂线的夹角,或是测量细线与铅垂线的夹角,就可决定气流的平行度。
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