(1)应在所有的门都关闭的条件下,由高压向低压、由平面布置上与外界远的里间房间开始,洁净室检测,依次向外测试;有孔洞相通的不同等级相邻的洁净室(区),其洞口处宜有合理的气流流向等等。
(2)在洁净平面上应从洁净度由高到低的顺序依次进行,一直检测到直通室外的房间。
(4)所测量记录的数据应到 1.0pa。
(1)先关闭所有的门。
(3)记录所有数据。
(1)不同级别的洁净室或洁净区与非洁净室(区)之间的静压差,应不小于5pa。
(3)对于空气洁净度等级严于 5 级(100 级)的单向流洁净室在开门时,洁净室检测报告,门内 0.6m 处的室内工作面含尘浓度应不大于相应级别的含尘浓度限值。
1.
2.尘埃粒子计数器的操作按<尘埃粒子计数器使用标准操作规程>进行。按从左至右的顺序进行采样(见附图),数据统计按<尘埃粒子计数器使用标准操作规程>数据分析进行统计计算。
3.热球风速仪使用操作按<热球风速仪使用标准操作规程>
4. 紫外线强度的检测操作按<紫外线强度检测标准操作规程>
1.玻璃温度计,洁净室检测设备,
2.数字温度计,
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