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    2023-6-4

陈伟涛
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洁净室检测技术

亦即玷污控制(contaminationcontrol)技术。指的是:对象(产品、人及动物)在被加工、处置、、防护及实验等过程中,对其所处环境内玷污物(影响对象的加工、处置、等、合格率或成功率的物质)进行控制的技术。

玷污物的污染包含对产品的损害和对人的危害。污染包含直接污染和交叉污染(范畴谓之)。人是污染源的发源地:人体每分钟散发10万个粒子(粒径***0.5μm)。每天脱落6~13克表皮细胞,一年脱落人体细胞约3.5公斤。半导体洁净室内微污染来源,手术室检测设备设备,经测试,作业人员占80%。



洁净室泄漏检测

1.于ulpa上游侧,测定一次侧之外气或回风浓度,以决定微尘粒子通过ulpa之容许渗透值(可以ulpa本身之透过率或率,计算之间。

2.距 ulpa测试面下方30—50mm处,手术室检测设备,以微尘粒子计数器设定30—50m /m每秒;之速度量测之,每量测距离间距5om / m,手术室检测设备报价,其量测方向为由---渐次向内,

3.在防侦烟器等部分均必须做量测。将泄漏测定之状态与数值记录列印出来。



洁净室检测点的布置

根据---共和标准gbj73-84<洁净厂房设计规范>的规定:在对净化车间进行洁净度检测时,检测点应为距室内地坪1.00m的水平面内;对于单向流型净化车间测点总数应不小于20点,测点间距为0.5-2.0m。水平单向流测点仅布置在一净化车间工作区内;非单向流净化车间按净化车间面积小于或等于50m2布置5个测点。



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